euv和duv区别有哪些

这篇文章主要介绍euv和duv区别有哪些，文中介绍的非常详细，具有一定的参考价值，感兴趣的小伙伴们一定要看完！

创新互联长期为成百上千客户提供的网站建设服务，团队从业经验10年，关注不同地域、不同群体，并针对不同对象提供差异化的产品和服务；打造开放共赢平台，与合作伙伴共同营造健康的互联网生态环境。为上海企业提供专业的成都网站设计、网站建设，上海网站改版等技术服务。拥有10年丰富建站经验和众多成功案例,为您定制开发。

euv和duv区别：1、duv基本上只能做到25nm，而euv能满足10nm以下的晶圆权制造；2、duv主要利用光的折射原理，而euv利用的光的反射原理，内部必须为真空操作。

euv和duv区别：

1、制程范围不同

duv：基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，却无法达到10nm以下。

euv：能满足10nm以下的晶圆权制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。

2、发光原理不同

duv：光源为准分子激光，光源的波长能达到193纳米。

euv：激光激发等离子来发射EUV光子，光源的波长则为13.5纳米。

3、光路系统不同

duv：主要利用光的折射原理。其中，浸没式光刻机会在投影透镜与晶圆之间，填入去离子水，使得193nm的光波等效至134nm。

euv：利用的光的反射原理，内部必须为真空操作。

以上是“euv和duv区别有哪些”这篇文章的所有内容，感谢各位的阅读！希望分享的内容对大家有帮助，更多相关知识，欢迎关注创新互联行业资讯频道！

新闻名称：euv和duv区别有哪些
本文地址：http://mswzjz.cn/article/gsoipo.html